在半导体芯片制造领域,微米级的毛刺或杂质都可能导致芯片短路、性能衰减甚至报废,而高速磨粒流去毛刺凭借 “柔性研磨 + 准确控量” 的特性,成为芯片关键制程中不可或缺的精密处理工艺,有效解决传统去毛刺方式的精度不足与损伤风险问题。
其核心适配性体现在对芯片细微结构的无损处理上。半导体芯片的晶圆载板、引线框架等部件常存在微米级的冲压毛刺或蚀刻残留,传统机械打磨易划伤表面镀层,化学去毛刺则可能腐蚀电路。高速磨粒流以柔性磨料介质为载体,通过可控的高压流场,让磨粒在芯片细微缝隙内流动研磨,既能彻底清除毛刺,又能保证极高的表面光洁度,完全契合半导体制造的 “零损伤” 要求。
在芯片封装环节,高速磨粒流去毛刺的优势更为突出。封装过程中,芯片与基板的焊接处易产生锡渣毛刺,若不清理会影响散热与信号传输。该技术可通过定制化流道设计,针对封装体的特定区域定向喷射磨粒流,且磨料介质可选用高洁净度的碳化硅微粉与专用悬浮液,处理后无需额外清洗即可满足半导体车间的无尘标准,避免二次污染。
此外,该技术的自动化与稳定性也适配芯片制造的批量生产需求。通过与半导体产线的 PLC 系统联动,高速磨粒流设备可实时调节磨粒浓度、流速与压力参数,针对不同型号芯片预设工艺方案,实现高效的批量去毛刺处理,且良率维持在极高水平。在制程的芯片制造中,高速磨粒流去毛刺已成为保障芯片可靠性、提升生产效率的关键工艺支撑。
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